Niobium Oxide Targets

Sem stendur notar undirbúningur níóbíumoxíðmarkmiða aðallega heitpressunar sintunarferli, en gallar lélegrar þjöppunar og leiðni eru almennt undirbúnir, sem er erfitt að uppfylla kröfur DC segulómasputtering fyrir markefni. Að auki hefur heitpressunarferlið langan sintunartíma, mikla orkunotkun og mikinn kostnað. Byggt á þessu er nauðsynlegt að útvega níníóbínoxíðmarkmið með lítilli orkunotkun, litlum tilkostnaði, góða þéttleika og leiðni og undirbúningsaðferð þess.

Eftirfarandi skref eru innifalin:

Níóbínpentoxíðdufti og níóbíumdufti var blandað jafnt og brennt við 600~800 gráður í 0,5~3klst undir súrefnis andrúmslofti eða loftlofti til að fá formeðhöndlað duft;

Duftið er hertað í grafítmót við 900~1200 gráður undir hlífðargaslofti í 0,5~1klst. til að fá níóbíumoxíðmarkmið.

Undirbúningsaðferð ofangreindra nóbíumoxíðmarkmiða, eftir að nióbíumpentoxíðduftinu og níóbíumduftinu er blandað jafnt saman, oxandi brennslumeðferðin er framkvæmd og yfirborð nóbíumduftsins er oxað til að mynda virkjaða oxíðfilmuhindrun, svo sem til að dreifa nióbíumpentoxíðduftinu, forðastu fyrirbæri þéttingar sem stafar af staðbundinni hertu niobiumpentoxíðdufts, og formeðhöndlað duft sem fæst er ekki þétt, ótengd, hefur góða vökva og einbeitta kornastærðardreifingu. Meðal þeirra hefur níóbínpentoxíðduftið mikið sérstakt yfirborðsflatarmál og mikla virkni og kornastærð þess er lítil, sem aftur dregur úr hitastigi heitpressunar sintunar og dregur úr tíma heitpressunar sindrunar og dregur þannig úr orkunotkun og kostnaður við heitpressu sintun, stytta framleiðsluferilinn og í raun bæta þéttingarstig níóbíumoxíðs sem fæst með heitpressu sintun.

Efnaformúla níóbíumoxíðmarkmiðsins sem er búið til með ofangreindri undirbúningsaðferð er Nb2Ox, 4.0 Minna en eða jafnt og x Minna en eða jafnt og 4,9, markið hefur mikla þéttleika, lítið porosity og flatt yfirborð án gryfja og þéttleiki þess er allt að 4,57g/cm3. Leiðni þess er mikil og viðnámið er 2×10-3~8×10-3Ω·cm. Meðal þeirra vísar hlutfallslegur þéttleiki til hlutfalls þéttleikans sem mældur er með afrennslisaðferð Arkimedesar fastþéttniskynjara og fræðilegs þéttleika, og stærð hlutfallslegs þéttleika gefur til kynna hversu þétting efnisins er, og því meiri hlutfallslegur þéttleiki er, því hærra sem þétting efnisins er.

maq per Qat: níóbínoxíðmarkmið, birgjar, framleiðendur, verksmiðja, sérsniðin, kaup, verð, tilboð, gæði, til sölu, á lager