Markaðsefnið hefur breiðan markað, margvíslega nytsamlega notkun og bjarta framtíð. Við skulum fara fljótt yfir helstu frammistöðukröfur markefnisins fyrir þig svo þú getir skilið árangur efnisins betur. Ég vona innilega að það muni nýtast þér.
Hreinleiki: Vegna þess að hreinleiki skotmarksins hefur veruleg áhrif á frammistöðu filmunnar er hreinleiki einn af aðal frammistöðumælingum marksins. Hreinleikaviðmið markefnisins eru þó mismunandi í hagnýtri notkun. Til dæmis, stærð sílikons oblátum hefur fjölgað úr 6′′, 8′′ í 12′′ vegna hraðrar útþenslu í rafeindaiðnaðinum og breidd raflagna hefur farið úr 0.5um í 0.25um, 0 .18um, eða jafnvel 0.13um, áður 99. Markhreinleiki upp á 995% getur uppfyllt kröfur 0.35umIC málsmeðferðarinnar, en 99 þarf til að undirbúa 0.18um lína.99,9999% eða jafnvel 999%.
Innihald óhreininda: Helstu uppsprettur mengunar fyrir útfelldu filmuna eru óhreinindi í fast efni marksins og súrefni og vatnsgufa í svitaholunum. Fjölbreytt markmið krefjast af ýmsum ástæðum mismunandi óhreinindainnihaldi. Til dæmis hefur hálfleiðarageirinn sérstaka staðla fyrir styrkleika geislavirk frumefni og alkalímálmar í skotmörkum úr hreinu áli og álblöndu.
Þéttleiki: Venjulega þarf að markefnið hafi meiri þéttleika til að minnka svitaholurnar í föstu efninu og auka virkni sputtered filmunnar. Rafmagns- og sjóneiginleikar filmunnar verða einnig fyrir áhrifum af þéttleika markefnisins, til viðbótar við sputtering hraða.Afköst filmunnar eykst með markþéttleika.Getu markefnisins til að lifa af hitaálagi meðan á sputtering ferlinu stendur er einnig bætt með því að auka þéttleika þess og styrk.Ein af helstu frammistöðumælingum marksins er þéttleiki.
