Baoji Yusheng Metal Technology Co., Ltd. sérhæfir sig í rannsóknum og framleiðslu átantal sputterting skotmörkog tómarúmhúðunarefni. Þar sem tantal hefur getu til að mynda oxíðfilmur og hefur verndandi áhrif, eru tantalmarkmiðar mikið notaðar sem hvarfefni til framleiðslu á rafgreiningarþéttum. Að þessu sinni var notkun tantal-sputtering-markmiða kynnt á sviði öreindatækni.
Tantalmarkmið fyrir varma bleksprautuprentara prenthausa
Hægt er að nota varma bleksprautuprenthausa við framleiðslu á þunnfilmu samþættum hringrásum, sem auðveldar notkun tantalmarkmiða. Í framleiðsluferli samþættra hringrása eru þunnfilmuviðnám notaðir til að hita filmulag bleksins hratt með orkuþéttleika nálægt 1,28E9 vött/m2, þannig að sumt afar lítið blek gufar upp og myndar útbreiddar loftbólur, sem eru í raun litlar blekdropar kastað út. . Þar sem háhitablek getur valdið kavitation í sumum bleksprautuprentunarbúnaði, getur notkun tantal-anti-cavitation filma verndað blekuppsetningar.
Tantalmarkmið fyrir koparhúðun
Tantal þunnt kvikmyndir hafa augljósa kosti í framleiðsluferli samþættra hringrása. Ein helsta framfarir í notkun tantal sputtering skotmarka er beiting koparhúðun. Ekki er hægt að nota ljósþolsgrímur og plasmaætingartækni til að mynda kopar vegna þess að kopar er við lághita plasmaætingarskilyrði. Óstöðugu rokgjörnu innihaldsefnin myndast ekki. Almennt séð gerir mikil leiðni koparefna það nauðsynlegt fyrir hindrunarfilmuna að einangra koparinn alveg. Hins vegar, ef hindrunarfilman er of þykk, tapast háleiðnilegir kostir kopartenginga. Þess vegna er mikilvægt að útfelling hindrunarfilmunnar í koparhúðuninni hafi góða þrepaþekju og minni útskot við holrúmin í gegnum/skurðinum. Þegar skipta um 0.10um kopar IC, sýna tantal og nituroxíð PVD hindrunarfilmur nokkra einstaka kosti, eins og góða kopardreifingu og góða viðloðun við raflausn og kopar.
The99,98 prósent tantal markmiðframleitt af Baoji Yusheng Metal Technology Co., Ltd. eru oft notaðir sem hitunarhlutar, hitaeinangrunarhlutar og hleðsluílát fyrir lofttæmda ofna. Tantalmarkmiðin sem fyrirtækið okkar framleiðir er ekki hægt að nota sem hvarfefni í efnaiðnaði. , geimferðaiðnaði, lækningatækjum og öðrum sviðum.
