1. Notkun segulómans til að spútta
Það eru þrjár gerðir af segulsviða sputtering: útvarpstíðni, millitíðni og DC sputtering.
A. Þéttleiki útfellingarfilmu er lítill og DC sputtering aflgjafinn er ódýr. Venjulega kjósa innlendar ljóshita- og þunnfilmu rafhlöður að nota tæknina þar sem hún krefst lítillar orku og notar leiðandi málm sem sputtering skotmark.
B. Orka RF sputteringarinnar er frekar mikil. Hægt er að nota leiðandi skotmark eða óleiðandi skotmark sem sputtering markið.
C. Hægt er að nota málm eða keramik skotmark sem miðlungs tíðni sputtering skotmark.
2. Flokkun og notkun sputteringsmarkmiða
Sputtering skotmörk koma í ýmsum stærðum og gerðum og þau eru ekki öll flokkuð á sama hátt. Hægt er að flokka þau í löng skotmörk, ferkantað skotmörk og kringlótt skotmörk eftir lögun og í málmmörk, álmörk og skotmörk úr keramiksamböndum byggt á samsetningu. Það er hægt að aðgreina það í keramikmörk sem tengjast hálfleiðurum, keramikmörk fyrir upptökumiðla, keramikmörk fyrir skjái osfrv. Byggt á ýmsum notkunarsviðum. Rafeindatækni og upplýsingageirar, þar með talið geymsla upplýsinga, eru aðalnotendur sputtering skotmarka. Harðir diskar, segulhausar, sjóndiskar og aðrar tengdar þunnfilmuvörur eru búnar til í þessum bransa með því að nota sputtering skotmörk.
Eins og er. Markaðurinn fyrir upptöku miðlungs keramikmarkmiða er að sjá aukningu í eftirspurn vegna áframhaldandi vaxtar upplýsingaiðnaðarins og rannsóknir og þróun upptöku miðlungs miða fá nú mikla athygli fjölmiðla.





