Notkunarsvið tantalmarkefna

Aðallega notað í eðlisfræðilegri gufuútfellingu og öðrum ferlum, meðan á sputtering ferlinu stendur, eru atóm á yfirborði tantalmarkmiðsins sprengd og sett í formi þunnrar filmu á undirlagið til að fá þunnt filmuefni sem óskað er eftir.
Bræðslumark tantals er allt að 2996 gráður, sem gerir tantalmarkmiðum kleift að viðhalda góðum burðarstöðugleika í háum-hita sem sputtering umhverfi og er ekki auðvelt að afmyndast eða gufa upp. Þéttleikinn er venjulega yfir 16,6 g/cm ³, sem getur dregið úr sprungu- eða aflögunarvandamálum við sputtering, á sama tíma og það dregur úr agnaslettu og bætt filmu gæði. Við úðunarhitastigið er það ekki auðvelt rokgjarnt, sem tryggir lágmarks tap á markefninu meðan á úðunarferlinu stendur og gefur stöðug tantal atóm fyrir þunnfilmuútfellingu.
Efnafræðilegir eiginleikar tantal eru mjög stöðugir og hvarfast varla við aðrar sýrur nema flúorsýru og heita óblandaða brennisteinssýru. Það er einnig hægt að nota það í langan tíma í erfiðu efnaumhverfi og tantalfilman sem gerð er úr henni hefur einnig góða tæringarþol. Tantalyfirborð er hætt við að mynda þétta og stöðuga tantaloxíð passiveringsfilmu, sem getur í raun komið í veg fyrir frekari oxunartæringu og bætt endingartíma efnisins.
Umsóknarreitur
Við framleiðslu á samþættum hringrásum eru tantalmarkefni notuð til að undirbúa dreifingarhindranir, koma í veg fyrir að kopartengingar dreifist inn í kísilhvarfefni, bæta áreiðanleika og afköst tækisins og geta einnig verið notaðir sem hliðarefni eða hluti af málmhliðum fyrir MOSFET, sem og þétta rafskaut í há-minnisbúnaði eins og DRAM.
Við framleiðslu á fljótandi kristalskjáum (LCD) og lífrænum {{0}ljósdíóðum (OLED), eru tantalmarkmið notuð til að undirbúa rafskaut og raflögn þunnfilmu smára (TFT). Stöðugleiki þeirra og leiðni hjálpa til við að bæta skjágæði. Að auki er einnig hægt að nota þau sem þunn filmuhjúpunarlög í OLED til að lengja endingu tækisins.
Notaðar til að undirbúa sjónfilmur eins og endurskinshúð eða síur, háhreinar tantalfilmur hafa jafnan brotstuðul og góða endingu, hentugur fyrir nákvæm ljóstæki eins og myndavélarlinsur og leysibúnað. Í efna-, jarðolíu-, sjávar- og öðru umhverfi getur and-tæringarhúð sem er unnin úr tantalmarkefnum á áhrifaríkan hátt verndað búnað, leiðslur og ílát fyrir tæringu.